液化三氟化氮有什么危害？
来源：www.dehechem.com 发布时间：2022年12月10日
液化三氟化氮化学式NF₃，在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体，是一种强氧化剂。液化三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体，在离子蚀刻时裂解为活性氟离子，这些氟离子对硅和钨化合物，高纯液化三氟化氮具有好的蚀刻速率和选择性（对氧化硅和硅），它在蚀刻时，在蚀刻物表面不留任何残留物，是非常良好的清洗剂，同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。
液化三氟化氮是低毒性物质，但是它能强烈刺激眼睛、皮肤和呼吸道粘膜，腐蚀组织。吸入高浓度NF3可引起头痛、呕吐和腹泻。长期吸入低浓度NF3能损伤牙齿和骨骼，使牙齿生黄斑，骨骼成畸形。具有强氧化性。与还原剂能发生强烈反应，引起燃烧爆炸。与易燃物(如苯)和有机物(如糖、纤维素等)接触会发生剧烈反应，甚至引起燃烧。受高热发生剧烈分解，甚至发生爆炸。大鼠吸入1000ppm·l小时末见死亡，但出现高铁血红蛋白血症，当吸入10000ppm·l小时有死亡，在2500ppm时吸入毒后4小时死亡。高容许浓度：10ppm(29mg/m3)。
如何才能不超过这个10ppm浓度限制呢？就需要用到液化三氟化氮检测仪，使用液化三氟化氮气体浓度检测仪可以检测其浓度，固定式液化三氟化氮检测仪安装于气体易泄露的地点，其核心部件为气体传感器，当液化三氟化氮泄露后挥发出来的气体传感器接触反应，固定式液化三氟化氮监测仪便会启动自身的报警功能声光报警，警醒工作人员。
液化三氟化氮是低毒性物质，但是它能强烈刺激眼睛、皮肤和呼吸道粘膜，腐蚀组织。吸入高浓度NF3可引起头痛、呕吐和腹泻。长期吸入低浓度NF3能损伤牙齿和骨骼，使牙齿生黄斑，骨骼成畸形。具有强氧化性。与还原剂能发生强烈反应，引起燃烧爆炸。与易燃物(如苯)和有机物(如糖、纤维素等)接触会发生剧烈反应，甚至引起燃烧。受高热发生剧烈分解，甚至发生爆炸。大鼠吸入1000ppm·l小时末见死亡，但出现高铁血红蛋白血症，当吸入10000ppm·l小时有死亡，在2500ppm时吸入毒后4小时死亡。高容许浓度：10ppm(29mg/m3)。
如何才能不超过这个10ppm浓度限制呢？就需要用到液化三氟化氮检测仪，使用液化三氟化氮气体浓度检测仪可以检测其浓度，固定式液化三氟化氮检测仪安装于气体易泄露的地点，其核心部件为气体传感器，当液化三氟化氮泄露后挥发出来的气体传感器接触反应，固定式液化三氟化氮监测仪便会启动自身的报警功能声光报警，警醒工作人员。
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