瓶装三氯化硼,化学式BCl3。无色液体;熔点-107.3℃,沸点12.5℃,密度1.349克/厘米3(11℃);易水解生成硼酸和氯化氢。它也是强的电子对受体,容易与各种给电子基团形成配位化合物。
三氯化硼溶液,不可燃、酸性气味。遇水分解生成氯化氢和硼酸,并放出大量热量,在湿空气中因水解而生成烟雾,在醇中分解为盐酸和硼酸酯。
高纯三氯化硼用作硅和锗外延、扩散和离子注入过程的P型掺杂源。用于光导纤维、药品和耐热涂料的制造。还可用作铝的气相刻蚀剂。制造IMDRAM需用三氯化硼,可提高集成电路产率。