液态氩气广泛应用于焊接、不锈钢制造、冶炼,还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、离子注入、载流、烧结等。用作ICP,气相色谱仪等仪器的载气,标准气、平衡气等。
高纯液氩是沸点在氧气和氮气之间的一种气体,空气中就存在不到百分之一的氩气,处于空气分离装置的中间部分,在将氧气和氮气分离出来的同时,将氩气抽出,进行下一步的提纯,得到高纯液氩,也可以生产出其他氩副产品。
工业液氩用于焊接,不锈钢制造,冶炼以及半导体工业中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延扩散、多晶硅离子注入载流烧结。
罐装液氩无色、无味、无臭的惰性气体,化学性质极不活泼。在21.1℃和101. 3kPa下气体相对密度1.38。气体密度1- 650kg.m-3 (21.1℃,101. 3kPa),液体密度1394.Okg.m-3(一185.9℃,101. 3kPa)。沸点- 185.9℃。熔点-189.2℃。